Ti,TiN ECR CVD膜のステップカバレッジ非対称性の改善 (1) Ti CVD

文献

J-GLOBAL ID：200902131016450285 整理番号：97A0503904

Improvement of asymmetric profile of Ti, TiN ECR CVD film. (1). Ti CVD.

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資料名：
巻： 44th 号： 2 ページ： 799 発行年： 1997年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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