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J-GLOBAL ID：200902131019114987   整理番号：02A0952619

最新FIB(集束イオンビーム)装置の紹介 TEM試料作製を中心としたナノ精度加工への応用

著者 (5件)： 完山正林 (セイコーインスツルメンツ) ,  山本洋 (セイコーインスツルメンツ) ,  岩崎浩二 (セイコーインスツルメンツ) ,  八坂行人 (セイコーインスツルメンツ) ,  足立達哉 (セイコーインスツルメンツ)
資料名： 分析電子顕微鏡討論会予稿集
巻： 18th  ページ： 68-73  発行年： 2002年09月19日 
JST資料番号： L1546A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,...
準シソーラス用語： TEM【電顕】

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分類 (3件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  実験操作・装置(化学一般)  (CA02000Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： FIB ,  集束イオンビーム ,  TEM ,  試料作製 ,  応用