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J-GLOBAL ID：200902131019201871   整理番号：94A0846906

化学蒸着に対する試薬の混合性を評価するためのレーザ光散乱の使用

The utility of laser light scattering in assessing the mixability of reagents for chemical vapor deposition.

著者 (3件)： NI B (Wayne State Univ., MI) ,  RECK G P (Wayne State Univ., MI) ,  PROSCIA J W (Ford Motor Co., MI)
資料名： Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Processing  (Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Processing)
ページ： 133-138  発行年： 1994年 
JST資料番号： K19940697  ISBN： 1-55899-223-5  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 気体試薬を混合するとき,微粒子形成を監視するために,レーザ光...

シソーラス用語： チタン化合物 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化学蒸着 ,  試薬 ,  混合性 ,  評価 ,  レーザ光散乱