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J-GLOBAL ID：200902131020387490   整理番号：94A0475935

マイクロ波負イオン源による酸素負イオンビームの生成

Production of Oxygen Negative Ion Beam by Microwave Negative Ion Source.

著者 (4件)： 田中政信 (日立 日立研) ,  小林一夫 (日立 日立研) ,  三宅潔 (日立 日立研) ,  作道訓之 (日立 日立研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 41st  号： Pt 2  ページ： 519  発行年： 1994年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ波 ,  負イオン源 ,  酸素 ,  負イオンビーム