電子サイクロトロンプラズマ化学蒸着で蒸着したナノ結晶シリコンの急速固相結晶化

HOLGADO S; MARTINEZ J; GARRIDO J; MORANT C; PIQUERAS J

文献

J-GLOBAL ID：200902131024236322 整理番号：96A0895859

電子サイクロトロンプラズマ化学蒸着で蒸着したナノ結晶シリコンの急速固相結晶化

Rapid solid phase crystallization of nanocrystalline silicon deposited by electron cyclotron plasma chemical vapor deposition.

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巻： 69 号： 13 ページ： 1873-1875 発行年： 1996年09月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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半導体薄膜

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