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J-GLOBAL ID：200902131028161807   整理番号：96A1002416

静電浮上システムのスイッチド電圧制御

Switched-Voltage Control of Electrostatic Levitation System.

著者 (3件)： WOO S J (神奈川科学技術アカデミー) ,  JEON J U (神奈川科学技術アカデミー) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1996  号： Autumn 3  ページ： 747-748  発行年： 1996年08月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

引用文献 (2件)：

• JIN, J. Electrostatic Levitator for Hard Disk Media. IEEE Trans. on Industrial Electronics. 1995, 42, 5, 467-473
• JIN, J. Electrostatic Silicon Wafer Suspension. Proc. 4th Int. Symp. Magnetic Bearings. 1994, 343-348

タイトルに関連する用語 (2件)： 浮上 ,  電圧制御