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文献J-GLOBAL ID:200902131028216709整理番号:97A0465286

検査分野で活躍する画像処理装置 高密度パターンとボンディングパッドの欠陥 検査に対応した画像処理装置HRS‐4000

Image processors utilized in the inspection field. Defects in high-density patterns and bonding pads. Image processor HRS-4000 for the inspections.

著者:村上知広(サンテック)、市村守(サンテック)、三好正倫(サンテック)・・・
資料名:画像ラボ 巻:8 号:5 ページ:39-43
発行年:1997年05月
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