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J-GLOBAL ID：200902131028216709   整理番号：97A0465286

検査分野で活躍する画像処理装置 高密度パターンとボンディングパッドの欠陥 検査に対応した画像処理装置HRS-4000

Image processors utilized in the inspection field. Defects in high-density patterns and bonding pads. Image processor HRS-4000 for the inspections.

著者 (4件)： 村上知広 (サンテック) ,  市村守 (サンテック) ,  三好正倫 (サンテック) ,  堀田雄二 (サンテック)
資料名： 画像ラボ  (Image Laboratory)
巻： 8  号： 5  ページ： 39-43  発行年： 1997年05月 
JST資料番号： L2340A  ISSN： 0915-6755  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 多ピン化,微細化,立体化の進むLSI実装部品やMCMなど回路...

シソーラス用語： 欠陥検査 ,...
準シソーラス用語： 画像検査装置

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 検査 ,  画像処理装置 ,  ボンディングパッド ,  欠陥 ,  Hrs