TiN薄膜における電気化学試験とスクラッチ試験との相関性

文献

J-GLOBAL ID：200902131033072855 整理番号：97A0502727

Correlation between electrochemical test using TiN thin film and scratch test.

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資料名：
巻： 39th ページ： 79 発行年： 1996年10月
JST資料番号： Z0295B 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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