SIMPSON T W について
Univ. Western Ontario, Ontario, CAN について
MITCHELL I V について
Univ. Western Ontario, Ontario, CAN について
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について
イオン注入 について
デチャネリング について
半導体の格子欠陥 について
半導体の放射線による構造と物性の変化 について
Siイオン について
注入 について
けい素 について
拡張 について
欠陥形成 について
格子間原子 について
フラックス について