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J-GLOBAL ID：200902131041764090   整理番号：96A0879009

ストレスリーク電流における非弾性トンネリングの実験的検証

Experimental Evidence for inelastic tunneling in stress-induced leakage current in SiO2.

著者 (3件)： 高木信一 (東芝 ULSI研) ,  安田直樹 (東芝 ULSI研) ,  鳥海明 (東芝 ULSI研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 57th  号： 2  ページ： 566  発行年： 1996年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： ストレス ,  リーク電流 ,  非弾性 ,  トンネリング ,  実験 ,  検証