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文献J-GLOBAL ID:200902131041888848整理番号:99A0632539

表面分析のケーススタディ 17 集束イオンビーム(FIB)装置による部位指定TEM用試料作製

FIB Cross-sectioning of TEM Samples at Specified Locations.

著者:富田雅人(NTT 生活環境研)、飯塚俊生(NTTアドバンステクノロジ)
資料名:表面技術 巻:50 号:7 ページ:613-617
発行年:1999年07月01日
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