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J-GLOBAL ID：200902131045461814   整理番号：94A0149719

Investigation of multilayer SOI structures by electroreflectance spectroscopy.

著者 (4件)： KLYUI N I (Inst. Semiconductors, Ukrainian Academy of Sciences, Kiev, SUN) ,  LITOVCHENKO V G (Inst. Semiconductors, Ukrainian Academy of Sciences, Kiev, SUN) ,  ROMANYUK B N (Inst. Semiconductors, Ukrainian Academy of Sciences, Kiev, SUN) ,  MELNIK V P (Inst. Semiconductors, Ukrainian Academy of Sciences, Kiev, SUN)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 18  号： 3  ページ： 137-140  発行年： 1993年12月 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： SOI