クラスターイオンビームによる窒化物薄膜の合成

文献

J-GLOBAL ID：200902131050468002 整理番号：99A0760999

Nitride Thin Film Synthesis by Cluster Ion Beam.

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著者 (1件)：
資料名：
号： 475,Pt.1 ページ： 417-420 発行年： 1999年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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