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J-GLOBAL ID：200902131051538551   整理番号：98A0272565

リソグラフィーアプリケーション用ガスパフZピンチプラズマ装置を使用するパルスソフトX線源の研究

Study of Pulsed Soft X-ray Source Employing a Gas-puff Z-pinch Plasma Device For Lithography Applications.

著者 (5件)： ZHANG G X (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  GUO X M (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  LUO C M (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LEE S (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  FENG X (Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
号： 409  ページ： 423-426  発行年： 1997年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： ガスパフ ,  Zピンチ ,  プラズマ装置 ,  パルス ,  ソフト ,  X線源 ,  研究