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J-GLOBAL ID：200902131053074498   整理番号：98A0129928

スパッタで作製したナノ結晶のTi及びZrのX線回折による構造的研究

Structural study of sputtered nanocrystalline Ti and Zr by X-ray diffraction.

著者 (4件)： SHI W (Shantou Univ., Shantou, CHN) ,  YAO R (Shantou Univ., Shantou, CHN) ,  LIN K (Shantou Univ., Shantou, CHN) ,  LIN X (Shantou Univ., Shantou, CHN)
資料名： Chinese Science Bulletin  (Chinese Science Bulletin)
巻： 42  号： 22  ページ： 1880-1883  発行年： 1997年11月 
JST資料番号： A0206B  ISSN： 1001-6538  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 液体窒素で冷却した基板上でのスパッタ蒸着によって作製したTi及びZrの薄膜の構造をX線回折で研究した。この薄膜はナノ結晶の粒子からなり,その平均粒径は6~7nmである。Tiのナノ結晶の構造はbccであり,Zrのそれはω相構造である。その構造の生成原因を考察した。

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,  *微結晶 ,  X線回折 ,  *チタン ,  *ジルコニウム ,  基板 ,  *金属薄膜 ,  蒸着膜 ,  粒径 ,  BCC金属 ,  ω相 ,  超微粒子 ,  ナノ結晶

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の結晶構造  (BK06000V)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタ ,  作製 ,  ナノ結晶 ,  Ti ,  Zr ,  X線回折 ,  研究