選択Al-CVD技術におけるプラズマレスClF<sub>3</sub>表面クリーニング (III) ClF<sub>3</sub>クリーニング後のTiN表面のXPS観察

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J-GLOBAL ID：200902141835822499 整理番号：95A1008989

選択Al-CVD技術におけるプラズマレスClF₃表面クリーニング (III) ClF₃クリーニング後のTiN表面のXPS観察

ClF3 pre-cleaning in selective Al-CVD.

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資料名：
巻： 56th 号： 2 ページ： 614 発行年： 1995年08月
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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