文献
J-GLOBAL ID：200902141992011291   整理番号：96A0626388

A comparison of microactuator concepts in view of fabrication technologies and applications.

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著者 (5件)：
SCHULZ J

SCHULZ J について

(Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe)

Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe について

, 
BLEY P

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(Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe)

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ZUM-GAHR K H

ZUM-GAHR K H について

(Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe)

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, 
MENZ W

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(Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe)

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, 
MOHR J

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(Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe)

Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe について


資料名：
Magnetic Materials, Processes, and Devices 4: Applications to Storage and Microelectromechanical Systems  (Magnetic Materials, Processes, and Devices 4: Applications to Storage and Microelectromechanical Systems)

Magnetic Materials, Processes, and Devices 4: Applications to Storage and Microelectromechanical Systems について


ページ： 436-450  発行年： 1996年 
JST資料番号： K19960408  ISBN： 1-56677-113-7  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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