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J-GLOBAL ID：200902159832075338   整理番号：02A0848710

水素終端ダイヤモンドを用いたイオン感応性FETへのオゾン処理の影響

著者 (7件)： 中村雄介 ,  金沢啓史 ,  堺俊克 ,  SONG K-S ,  梅沢仁 ,  立木実 ,  川原田洋
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 63rd  号： 2  ページ： 501  発行年： 2002年09月24日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...

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分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水素終端 ,  ダイヤモンド ,  イオン感応性FET ,  オゾン処理