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J-GLOBAL ID：200902165022021118   整理番号：94A0476505

AFMにより測定したAu/シリコン自然酸化膜/Si構造の電流電圧特性

Current-Voltage Characteristics of Au/Silicon Native Oxide/Si Structures Measured Using AFM.

著者 (4件)： 西藤健二 (武蔵工大 工) ,  松田真典 (武蔵工大 工) ,  安武正敏 (セイコー電子工業) ,  服部健雄 (武蔵工大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 41st  号： Pt 2  ページ： 770  発行年： 1994年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： AFM ,  Au ,  シリコン ,  自然酸化膜 ,  Si ,  電流電圧特性