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文献J-GLOBAL ID:200902165030772092整理番号:95A0744900

Negative Ions in 13.56 MHz Discharge of SF6 Gas in a Planar Diode.

平行平板電極におけるSF6ガスの13.56MHz放電中の負イオン

著者:NAGASEKI K(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)、ISHIKAWA I(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)、NISHIMURA E(Tokyo Electron Yamanashi Ltd., Nirasaki, JPN)・・・
資料名:Jpn J Appl Phys Part 2 巻:34 号:7A ページ:L852-L855
発行年:1995年07月01日
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