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文献J-GLOBAL ID:200902165030835108整理番号:98A0657701

A high resolution beam scanning system for deep ion beam lithography.

深部イオンビーム・リソグラフィーのための高分解能ビーム走査システム

著者:SANCHEZ J L(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)、VAN KAN J A(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)、OSIPOWICZ T(National Univ. Singapore, Singapore, SGP)・・・
資料名:Nucl Instrum Method Phys Res Sect B Beam Interact Mater At 巻:136/138 ページ:385-389
発行年:1998年03月
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