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J-GLOBAL ID：200902165046071493   整理番号：98A0281378

電気抵抗の大きい柔らかいCo-Al-N磁性薄膜のXPSキャラクタリゼーション

XPS Characterization of High Electrical Resistance Soft Magnetic Thin Co-Al-N Films.
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著者 (3件)：
ASAMI K

ASAMI K について

(Tohoku Univ., Sendai)

Tohoku Univ., Sendai について

, 
OHNUMA S

OHNUMA S について

(Res. Inst. Electric and Magnetic Materials, Sendai)

Res. Inst. Electric and Magnetic Materials, Sendai について

, 
MASUMOTO T

MASUMOTO T について

(Res. Inst. Electric and Magnetic Materials, Sendai)

Res. Inst. Electric and Magnetic Materials, Sendai について


資料名：
ECASIA 97  (ECASIA 97)

ECASIA 97 について


ページ： 609-612  発行年： 1997年 
JST資料番号： K19980098  ISBN： 0-471-97827-2  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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RFスパッタリング法により(Co80A...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*コバルト合金

コバルト合金 について

,...
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分類 (3件)：
分類
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金属組織観察法 
(WB01010R)

金属組織観察法 について

,  金属薄膜 
(BK14030T)

金属薄膜 について

,  電子分光スペクトル 
(BM09060K)

電子分光スペクトル について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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電気抵抗

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CO

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, 
Al

Al について

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磁性薄膜

磁性薄膜 について

, 
XPS

XPS について

, 
キャラクタリゼーション

キャラクタリゼーション について


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