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文献J-GLOBAL ID:200902165050994970整理番号:95A0979906

高周波プラズマスパッタ型負重イオン源におけるSF6からのフッ素負イオン引き出し

Negative-Fluorine-Ion Extraction from RF Plasma-Sputter-Type Heavy Negative-Ion Source using SF6 Gas.

著者:辻博司(京大 大学院)、富田哲生(京大 大学院)、豊田啓孝(京大 大学院)・・・
資料名:真空 巻:38 号:9 ページ:769
発行年:1995年09月
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