文献

J-GLOBAL ID：200902165083571986   整理番号：95A0067824

P-N接合の経時劣化現象

Phenomenon of Time Dependent Degradation of P-N Junction.

著者 (3件)： 三橋順一 (三菱電機 北伊丹製作所) ,  渡部元 (三菱電機 ULSI開研) ,  小守純子 (三菱電機 ULSI開研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 94  号： 352(R94 37-44)  ページ： 43-48  発行年： 1994年11月18日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： P-N接合の信頼性を調べるためにウェハーレベルでの経時接合劣...

シソーラス用語： PN接合 ,...

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分類 (1件)： 13-15族化合物を含む半導体-半導体接合  (BM03082Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： p-n接合 ,  経時劣化 ,  現象