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J-GLOBAL ID：200902165093197764   整理番号：98A0771422

歪敏感電界効果トランジスタを利用したGaAs/AlGaAsカンチレバーの機械共振の測定

Measuring the mechanical resonance of a GaAs/AlGaAs cantilever using a strain-sensing field-effect transistor.

著者 (5件)： BECK R G (Harvard Univ., MA, USA) ,  ERIKSSON M A (Harvard Univ., MA, USA) ,  WESTERVELT R M (Harvard Univ., MA, USA) ,  MARANOWSKI K D (Univ. California, CA, USA) ,  GOSSARD A C (Univ. California, CA, USA)
資料名： Semiconductor Science and Technology  (Semiconductor Science and Technology)
巻： 13  号： 8A  ページ： A83-A85  発行年： 1998年08月 
JST資料番号： E0503B  ISSN： 0268-1242  CODEN： SSTEET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2次元電子ガスがある標題ヘテロ構造から,サイズが0.5μm×...

シソーラス用語： ヒ化ガリウム ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 歪 ,  電界効果トランジスタ ,  GaAs ,  AlGaAs ,  カンチレバー ,  機械共振