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J-GLOBAL ID：200902165103081387   整理番号：01A0565036

スパッタ薄膜中のアルゴン包有物とモリブデン電界放出アレイに対するガスの効果

Argon inclusion in sputtered films and the effect of the gas on molybdenum field emitter arrays.

著者 (2件)： CHALAMALA B R (Motorola, Inc., Arizona) ,  REUSS R H (Motorola, Inc., Arizona)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 78  号： 15  ページ： 2151-2153  発行年： 2001年04月09日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電界放出ディスプレイの残留ガスを測定すると,モリブデン(Mo...

シソーラス用語： 金属薄膜 ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,...

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分類 (2件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタ ,  薄膜 ,  アルゴン ,  包有物 ,  モリブデン ,  電界放出アレイ