シランプラズマ中における微粒子の成長と放電特性に及ぼす影響

文献

J-GLOBAL ID：200902165119318190 整理番号：96A0072299

Effects on the growth and discharging characteristics of fine particles in silane plasma.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=96A0072299&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0072299&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L2200A") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 48th ページ： 196 発行年： 1995年09月
JST資料番号： L2200A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

, , , ,

前のページに戻る