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文献J-GLOBAL ID:200902165119318190整理番号:96A0072299

シランプラズマ中における微粒子の成長と放電特性に及ぼす影響

Effects on the growth and discharging characteristics of fine particles in silane plasma.

著者:楊城彩(長崎大 工)、中島美伸(長崎大 工)、前村葉子(長崎大 工)・・・
資料名:電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 巻:48th ページ:196
発行年:1995年09月
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