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文献J-GLOBAL ID:200902165130141286整理番号:01A0799962

Electrochemical impedance spectroscopy as a probe for wet chemical silicon oxide characterization.

酸化けい素の湿式化学的キャラクタリゼーションに用いるプローブとしての電気化学インピーダンス分光法

著者:BERTAGNA V(Univ. d’Orleans, Orleans, FRA)、ERRE R(Univ. d’Orleans, Orleans, FRA)、LEVY D(STMicroelectronics, Crolles, FRA)・・・
資料名:J Solid State Electrochem 巻:5 号:5 ページ:306-312
発行年:2001年07月
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