反応性スパッタリングによるAl-Sn窒化膜の潤滑特性

文献

J-GLOBAL ID：200902165132657395 整理番号：97A0709916

Lubrication characteristics of a Al-Sn nitride film by reactive sputtering.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=97A0709916&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0709916&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0047B") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 1997-5 ページ： 241-243 発行年： 1997年04月
JST資料番号： Y0047B ISSN： 0919-6005 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

, , , ,

前のページに戻る