HERDEN M について
Friedrich-Alexander-Univ. Erlangen-Nuernberg, Erlangen, DEU について
BAUER A J について
Fraunhofer Inst. Integrated Circuits-Device Technol. (IIS-B), Erlangen, DEU について
RYSSEL H について
Friedrich-Alexander-Univ. Erlangen-Nuernberg, Erlangen, DEU について
Microelectronics Reliability について
MOS構造 について
PMOS構造 について
固体デバイス計測・試験・信頼性 について
酸化物薄膜 について
ゲート電極 について
窒素 について
注入 について
ゲート酸化膜 について
ほう素 について
浸透 について