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J-GLOBAL ID：200902165144134401   整理番号：97A0672520

高融点金属被覆の新しい製造方法

A new fabrication method of high melting point metal coating.

著者 (4件)： TANG B (X’ian Jiaotong Univ.) ,  HE J (X’ian Jiaotong Univ.) ,  WANG C (Taiyuan Polytechnic Univ.) ,  XU Z (Taiyuan Polytechnic Univ.)
資料名： Cailiao Yanjiu Xuebao  (Cailiao Yanjiu Xuebao)
巻： 11  号： 2  ページ： 203-206  発行年： 1997年04月25日 
JST資料番号： W0603A  ISSN： 1005-3093  CODEN： CYXUEV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 単純な構造で高いスパッタリング速度の新しい中空陰極スパッタリングターゲットを考案した。スパッタリング速度は,ターゲット電圧,圧力,H・D^-1を変えることで制御した。本法は速い蒸着速度をもち,被覆は高強度を示した。多くの金属や合金,特に高融点金属やその合金のターゲット材に適する方法である。

シソーラス用語： 高融点金属 ,  陰極スパッタリング ,  ターゲット ,  ホロー陰極 ,  気相めっき

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 高融点金属 ,  製造方法