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文献J-GLOBAL ID:200902165162084853整理番号:99A0362748

UV laser-induced photolysis of silacyclopent-3-ene: unseparable photochemistry of reactant and product for chemical vapour deposition of Si/C/H polymer.

シラシクロ‐3‐ペンテンのUVレーザ誘起光分解 Si/C/H重合体の化学蒸着のための反応基質および生成物の分離不能な光化学

著者:POLA J(Inst. Chemical Process Fundamentals, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE)、OUCHI A(AIST, MITI, Ibaraki, JPN)、URBANOVA M(Inst. Chemical Process Fundamentals, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE)・・・
資料名:J Organomet Chem 巻:575 号:2 ページ:246-250
発行年:1999年03月01日
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