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J-GLOBAL ID:200902165171282641   整理番号:97A0569787

超高真空中のSi(111)表面の昇華

Sublimation of the Si(111) surface in ultrahigh vacuum.
著者 (4件):
資料名:
巻: 55  号: 16  ページ: R10237-R10240  発行年: 1997年04月15日 
JST資料番号: D0746A  ISSN: 1098-0121  CODEN: PRBMDO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Si(111)表面の昇華を,超高真空中で加熱したときできるク...
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半導体の表面構造 
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