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J-GLOBAL ID:200902165175725750   整理番号:99A0577488

極薄,非晶質炭素膜のHREM研究とイオン衝撃下での炭素からダイヤモンドへの構造変化

HREM study of ultra-thin, amorphous carbon films and structural changes of carbon forms to diamond under ion bombardment.
著者 (6件):
資料名:
巻:号: 2/5  ページ: 688-692  発行年: 1999年03月 
JST資料番号: W0498A  ISSN: 0925-9635  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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極薄のダイヤモンド状炭素膜をHREMで観察し,膜成長の初期過...
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分類 (2件):
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炭素とその化合物  ,  半導体薄膜 

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