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文献
J-GLOBAL ID:200902165178869710   整理番号:00A0122725

極端紫外線多層欠陥の補償法

Method for compensation of extreme-ultraviolet multilayer defects.
著者 (5件):
資料名:
巻: 17  号:ページ: 3024-3028  発行年: 1999年11月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 1071-1023  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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極端紫外線(EUV)リソグラフィー用マスクの欠陥補償法を提案...
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性  ,  試料技術 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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