マグネトロンスパッタリングにより作製した透明導電性多成分酸化物薄膜の仕事関数

文献

J-GLOBAL ID：200902165179229715 整理番号：99A0587220

Work function of transparent conducting multicomponent oxide thin films prepared by magnetron sputtering.

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巻： 108/109 号： 1/3 ページ： 583-587 発行年： 1998年10月10日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

標記の透明導電性酸化物(TCO)薄膜の仕事関数などの特性を測...

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酸化物薄膜 , 表面の電子構造

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