文献

J-GLOBAL ID：200902165201624623   整理番号：02A0497184

多成分衝突カスケードにおける粒子スペクトル

Particle Spectra in Multicompenent Collision Cascades.

著者 (1件)： ZHANG Z (Huainan Inst. Technol., Huainan, CHN)
資料名： Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng  (Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng)
巻： 31  号： 2  ページ： 96-98  発行年： 2002年04月 
JST資料番号： W0563A  ISSN： 1002-185X  CODEN： XJCGEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 指数散乱断面積を用いてスパッタリングについての輸送方程式の解を求め,一般的な漸近解を得た。この解はUrbassekの提案した二種類の解を特殊解として含み,既報のSC解に新しい証拠を提供する。Vicanekの提案した輸送理論について計算および解析を行い,Vicanek理論の結果とモンテカルロ法シミュレーションの結果との一致が不完全であることを示した。

シソーラス用語： *スパッタリング ,  多成分系 ,  *カスケード過程 ,  *エネルギー分布 ,  微分断面積 ,  漸近解 ,  確率分布 ,  運動論的方程式 ,  粒子ビーム
準シソーラス用語： エネルギースペクトル

分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)