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J-GLOBAL ID：200902165203919264   整理番号：94A0194012

特集 オゾン利用技術の実際 超純水へのオゾンの利用

Special issue : Actual applications of ozone technology.Application of ozone to ultrapure water.
著者 (2件)：
大見忠弘

大見忠弘 について

(東北大 工)

東北大 工 について

, 
安井信一

安井信一 について

(東北大 工)

東北大 工 について


資料名：
クリーンテクノロジー  (Clean Technology)

クリーンテクノロジー について


巻： 4  号： 2  ページ： 54-61  発行年： 1994年02月 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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半導体製造分野に於てウエハに与える損害が少なく,低温処理でき...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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純水

純水 について

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準シソーラス用語：
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シリコン

シリコン について


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分類 (2件)：
分類
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ガス化学工業 
(YB02070O)

ガス化学工業 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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オゾン

オゾン について

, 
純水

純水 について


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