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J-GLOBAL ID：200902165207996638   整理番号：94A0700160

窒化チタンでのイオン注入影響領域(長範囲効果)の非破壊的研究

Non-destructive study of the ion-implantation-affected zone (the long-range effect) in titanium nitride.

著者 (6件)： PERRY A J (ISM Technologies Inc., CA, USA) ,  TREGLIO J R (ISM Technologies Inc., CA, USA) ,  SCHAFFER J P (Lafayette Coll., PA, USA) ,  BRUNNER J (ETH-Zuerich, Zuerich-Hoenggerberg, CHE) ,  VALVODA V (Charles Univ., Prague, CSK) ,  RAFAJA D (Charles Univ., Prague, CSK)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 66  号： 1/3  ページ： 377-383  発行年： 1994年08月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 陽電子消滅分光と視斜角X線回折分析を用いて,TiN被覆した工...

シソーラス用語： イオン注入 ,...
準シソーラス用語： 窒化チタン

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分類 (1件)： その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 窒化チタン ,  イオン注入 ,  研究