文献

J-GLOBAL ID：200902165209043352   整理番号：97A0936080

マイクロマシニング技術を用いた超小型熱分析装置の製作とその評価

Production of miniature thermal analysis equipment using micromachining technology and its evaluation.

著者 (3件)： 早坂淳一 (東北学院大 工) ,  沢井千香子 (東北学院大 工) ,  木村光照 (東北学院大 工)
資料名： 電気関係学会東北支部連合大会講演論文集  (Tohoku-Section Joint Convention Record on Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan)
巻： 1997  ページ： 216  発行年： 1997年08月 
JST資料番号： L1767A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロマシニング技術 ,  熱分析装置 ,  製作 ,  評価