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文献J-GLOBAL ID:200902165215021794整理番号:99A0580275

Bi2SiO5/Si型MIS構造の作製と電気特性

Fabrication and Electric Properties of a Bi2SiO5/Si MIS Structure.

著者:右田真司(電総研)、小林寛(日本大 理工)、XIONG S‐B(電総研)・・・
資料名:応用物理学会学術講演会講演予稿集 巻:59th 号:2 ページ:468
発行年:1998年09月
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