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J-GLOBAL ID：200902172781177889   整理番号：96A0420493

窒素注入を用いた高信頼性化サブクォータミクロンCMOS

Highly Reliable Sub-Quarter-Micron CMOS using Nitrogen Implantation.

著者 (7件)： 清水悟 (三菱電機 ULSI開研) ,  黒井隆 (三菱電機 ULSI開研) ,  川崎洋司 (三菱電機 ULSI開研) ,  楠茂 (三菱電機 ULSI開研) ,  奥村喜紀 (三菱電機 ULSI開研) ,  犬石昌秀 (三菱電機 ULSI開研) ,  三好寛和 (三菱電機 ULSI開研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 43rd  号： 2  ページ： 690  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒素 ,  注入 ,  高信頼性 ,  CMOS