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文献
J-GLOBAL ID:200902175978286891   整理番号:97A0026094

マイクロ・マクロマニピュレータに関する研究 小林尚登研究室

Study on micro and macro-manipulator. Kobayashi Naoto laboratory.
著者 (3件):
資料名:
巻: 24  号: 13  ページ: 61-66  発行年: 1996年12月 
JST資料番号: S0852A  ISSN: 0385-9886  CODEN: KEGIDR  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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主に微細物体の把持作業を目的としたマイクロ・マクロマニプレー...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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