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J-GLOBAL ID：200902185455771309   整理番号：95A0026235

極高真空におけるアトムカウンティング技術

Atom-counting technology for the measurement of extreme high vacuum.

著者 (4件)： 国分清秀 (電総研) ,  一村信吾 (電総研) ,  関根重幸 (電総研) ,  清水肇 (電総研)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 63  号： 12  ページ： 1239-1242  発行年： 1994年12月 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザーを用いたアトムカウンティング技術による,極高真空計測...

シソーラス用語： 極高真空 ,...

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分類 (3件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  真空技術  (BA02020L) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (9件)：

• 1) G. S. Hurst, M. H. Nayfeh and J. P. Young: Appl. Phys. Lett. 30, 229 (1977).
• 2) S. Ichimura, K. Kokubun and H. Shimizu: Jpn. J. Appl. Phys. 23, L573 (1987).
• 3) K. Kokubun, S. Ichimura, H. Hashizume, H. Shimizu, Y. Oowadano, Y. Matsumoto and K. Endo: J. Vac. Sci. & Technol. A8, 3310 (1990).
• 4) K. Kokubun, S. Sekine, S. Ichimura, A. Kurokawa and H.Shimizu: J. Vac. Sci. & Technol., 投稿中.
• 5) S. Sekine, K. Kokubun, S. Ichimura and H. Shimizu: Jpn. J. Appl. Phys. 32, L1284 (1993).

タイトルに関連する用語 (3件)： 極高真空 ,  アトム ,  カウンティング