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J-GLOBAL ID：200902192669930303   整理番号：97A0503171

超高真空AFM用カンチレバーの酸化層・汚染層の除去とその評価

Removal of Oxide Layers and Contamination Layers from Cantilevers for UHV-AFM.

著者 (2件)： 新井豊子 (北陸先端科学技術大学院大) ,  富取正彦 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 44th  号： 2  ページ： 516  発行年： 1997年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高真空 ,  AFM ,  カンチレバー ,  酸化層 ,  汚染 ,  評価