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J-GLOBAL ID:200902204213591890   整理番号:06A0746449

極低温超音波計測による点欠陥性御CZシリコン結晶中の原子空孔濃度分布観測

著者 (7件):
資料名:
巻: 67th  号:ページ: 387  発行年: 2006年08月29日 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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半導体の格子欠陥 

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