時変制御系による機台振動抑制を考慮したテーブル位置決め制御

山元純文; 伊藤和晃; 岩崎誠; 松井信行

文献

J-GLOBAL ID：200902209634774082 整理番号：08A0322306

時変制御系による機台振動抑制を考慮したテーブル位置決め制御

Table Positioning Control Using Time-Varying Controller Considering Machine Stand Vibration Suppression

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著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： IIC-08 号： 36-52 ページ： 57-63 発行年： 2008年03月10日
JST資料番号： X0577A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

メカトロニクス機器では高速・高精度な位置決め制御が重要な要素技術である。本稿では,多変数系に対する2自由度制御系をベースに,位置決め性能と機台振動抑制の両立を目的とし,位置決め応答中に制御目的の異なる制御系を滑らかに切り替える時変制御系を構成した。具体的には,位置決め整定以前では位置決め性能を重視して設計した制御系を用い,その後,機台振動の残留振動抑制を目的に機台振動抑制を重視して設計した制御系へと変化させる。本手法の有効性は,供試ボールねじ駆動テーブル装置を用いた実験により明らかにした。

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プロセス制御 , 作業研究

引用文献 (9件)：

Kaiji Satou: “Friction Characteristic and Ultra-precision Positioning”, JSME, Vol.104, No.9, pp. 610-611(2001) 佐藤海二:「摩擦特性と超精密位置決め」, 日本機械学会誌, Vol.104, No.9, pp. 610-611(2001)
Jiro Otsuka, Sadaji Hayama, Yasuji Ohashi: “Present and Future Technologies of Precision and Ultra-Precision Positioning”, JSPE, Vol.67, No.2, pp. 173-178(2001) 大塚二郎, 羽山定治, 大橋康二:「精密・超精密位置決めの現状と将来予想」, 精密工学会誌, Vol.67, No.2, pp. 173-178(2001)
A. Yamamoto, H. Miyagawa, H. Hamamatsu, S. Goto, M. Nakamura: “High-Speed Positioning Control for Linear Motor Driving Table without Base Vibration”, JSPE, Vol.70, No.5, pp. 645-650(2004) 山本暁洋, 宮河秀和, 浜松弘, 後藤聡, 中村政俊:「機台振動抑制を図ったリニアモータ駆動テーブルの高速位置決め制御」, 精密工学会誌, Vol.70, No.5, pp. 645-650(2004)
D. Kawase, Y. Higuchi, K. Ito, M. Kawafuku, M. Iwasaki, H. Hiromu: “Fast and Precise Positioning Control Using LMI-based Command Shaping Considering Stand Vibration Suppression” Paper of Technical Meeting on IIC, Vol.IIC-07-89(2007) 川瀬, 樋口, 伊藤, 川福, 岩崎, 平井:「LMIを用いた位置指令による機台振動を考慮した高速・高精度位置決め制御」, 電気学会産業計測制御研究会資料,Vol.IIC-07-89(2007)
Akio Nagamatsu: “Introduction to Modal Analysis”, Corona publishing (1993)(in Japanses) 長松昭男:「モード解析入門」, コロナ社 (1993)

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