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J-GLOBAL ID：200902212377256807   整理番号：09A0759611

AFM探針スクラッチナノ加工による強磁性パターン薄膜の狭窄化

Constriction of Ferromagnetic Patterned Thin Film by Nano Scratching using AFM cantilever

著者 (4件)： 菅沼秀教 (横浜国大) ,  JANG Kyungmin (横浜国大) ,  山田努 (横浜国大) ,  竹村泰司 (横浜国大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 109  号： 89(EMD2009 14-20)  ページ： 7-10  発行年： 2009年06月12日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究は,原子間力顕微鏡(AFM:atomic force microscope)によるダイレクト・スクラッチ加工技術を用いて,強磁性細線に狭窄化を施すことによってナノ接合部を作製し,特異な電流電圧特性や磁気抵抗効果を観測することを目的とした。ここでは,NiFe薄膜に対するAFMスクラッチリソグラフィを,カンチレバーの加重,走査速度,走査回数を変化させて行い,加工具合がそれぞれのパラメータにどのように依存しているか観測した。そして,実際にAFMスクラッチ加工を利用してNiFeパターン細線に狭窄化を施したところ,接合幅139nm,断面積3.0×10²nm²のナノ接合部の作製に成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *ナノメータ加工 ,  強磁性体 ,  薄膜 ,  細線 ,  磁気抵抗効果 ,  片持梁 ,  パラメタリゼーション ,  接合
準シソーラス用語： *AFM【顕微鏡】 ,  NiFe薄膜 ,  カンチレバー ,  *ナノ加工 ,  ナノ接合

分類 (3件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  原子間相互作用  (BH04020U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： AFM ,  探針 ,  スクラッチ ,  ナノ加工 ,  強磁性 ,  薄膜 ,  狭窄