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文献J-GLOBAL ID:200902212379576035整理番号:05A0994903

Synthesis and mechanical evaluation of quaternary Ti-Cr-Si-N coatings deposited by a hybrid method of arc ion plating and sputtering techniques

アークイオンめっきとスパッタリングとのハイブリッド法で蒸着した四元系Ti‐Cr‐Si‐N皮膜の合成と力学的な評価

著者:LEE Dong Keun(School of Materials Sci. and Engineering, Pusan National Univ., Busan 609-735, KOR)、KANG Dong Shik(School of Materials Sci. and Engineering, Pusan National Univ., Busan 609-735, KOR)、SUH Ju Hyung(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Pohang Univ. of Sci. and Technol. (POSTECH), Pohang 790-784, KOR)・・・
資料名:Surf Coat Technol 巻:200 号:5-6 ページ:1489-1494
発行年:2005年11月21日
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