超高密度記録媒体に適用可能性のあるCoCrPt薄膜上にアルミニウムのスパッタリングによって成長したナノ粒子のAl<sub>2</sub>O<sub>3</sub>結晶

MANAFI S.a.; POOLADI R.; BAHREVAR M.a.; ALMASI-KASHI M.

文献

J-GLOBAL ID：200902212384940071 整理番号：09A0478037

超高密度記録媒体に適用可能性のあるCoCrPt薄膜上にアルミニウムのスパッタリングによって成長したナノ粒子のAl₂O₃結晶

Nano-grain Al₂O₃ crystals grown by sputtering of aluminium on CoCrPt thin films for potential application in ultra-high-density recording media

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巻： 209 号： 10 ページ： 4874-4879 発行年： 2009年06月01日
JST資料番号： H0650A ISSN： 0924-0136 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

Al₂O₃基のsupraセラミックの組立部品の設計には,素晴らしい化合物中の適切な分散と関連した問題やユニークなやりかたにおける好ましい方向の制御能力があるため難問が残っている。ここでは,スパッタリング技術とその後焼鈍化処理を行って,Si(100)基体を有する粒状のHCP-(CoCrPt)_100-X(Al₂O₃)_X(Xはwt%)の薄膜を製作した。磁性記録媒体に適用の可能性があるとして薄膜の構造・磁気特性を調べた。その結果,CoCrPt磁性層中にナノ粒Al₂O₃を増加させて保磁力は0.5から2.5kOeに増加した。CoCrPt-Al₂O₃中に,焼鈍薄膜中のAl₂O₃量を3から13wt%に増加させて2.5kOeの薄膜を得た。X線回折(XRD)と選択領域電子回折(SAED)付き透過電顕(TEM)を用いて,試料の構造的性質を調べた。振動試料磁気計(VSM)で試料の磁気特性を測定した。VSM測定の結果,HCP-CoCrPt-Al₂O₃粒状膜はAl₂O₃が低く製造プロセスが単純であるため,超高密度記録媒体用の有力な候補であることが判明した。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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電子・磁気・光学記録

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超高密度記録媒体に適用可能性のあるCoCrPt薄膜上にアルミニウムのスパッタリングによって成長したナノ粒子のAl2O3結晶

超高密度記録媒体に適用可能性のあるCoCrPt薄膜上にアルミニウムのスパッタリングによって成長したナノ粒子のAl₂O₃結晶